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對氣動執行器進行標定,并測試標定效果。
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1. 標準化高速采集模塊2. 快速精準的氣壓調整。3. 可多點標定。
1. 執行器調整2. 執行器位置復檢
1. 控制氣壓精度:0.1%2. 位移精度:3um
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